制作方法：

HVPE（氢化物气象外延法）

传导类型：

N型；半绝缘型

电阻率：

R<0.5 Ω.cm；R>10⁶Ω.cm

表面粗糙度：

<0.5nm

位错密度：

<5×10⁶Ω.cm

可用表面积：

>90%

TTV：

≤15um

Bow：

≤20um

晶向：

<0001>

常规尺寸：

dia50.8mm±1mm x 0.35mm ±25um

注：可按照客户要求加工尺寸及方向。