基底 Si，<100>，P型掺B，4"x~525um，1sp 膜层 ZnO膜：c轴，<001>  ZnO = 150nm， Pt膜：<111>  Pt = 150nm Ti（胶层）= 20-40nm 电阻率 1-10 ohm.cm 基材尺寸 4"±0.5mmx0.525mm 抛光情况 单抛 表面粗糙度 Ra<20 A RMS Pt膜的最大热预算 ~750℃/ h

参数信息
外观状态：	固体或粉末
质量指标：	95%+
溶解条件：	有机溶剂/水
CAS号：	N/A
分子量：	N/A
储存条件：	-20℃避光保存
储存时间：	1年
运输条件：	室温2周
生产厂家：	上海金畔生物科技有限公司